Wasserstoff-Induzierte Silizium-Schichtabtrennung Durch Implantations- Und Plasmaprozesse Fur Die Herstellung Von Soi-Substraten

Wasserstoff-Induzierte Silizium-Schichtabtrennung Durch Implantations- Und Plasmaprozesse Fur Die Herstellung Von Soi-Substraten

By Wolfgang Dungen

Dec 31, 2007

ISBN 10: 3832518088
ISBN 13: 9783832518080
Publisher: Logos Verlag Berlin
Author: Wolfgang Dungen
Publish Date: Dec 31, 2007
Page count: 128
Title: Wasserstoff-Induzierte Silizium-Schichtabtrennung Durch Implantations- Und Plasmaprozesse Fur Die Herstellung Von Soi-Substraten
Edition notes: Source title: Wasserstoff-Induzierte Silizium-Schichtabtrennung Durch Implantations- Und Plasmaprozesse Fur Die Herstellung Von Soi-Substraten (German Edition)
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Format: paperback
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